杨杰在得知黄明超等人研发的极紫外光光刻机对波长在12纳米的光源十分敏感,心中也是诧异了一下。
在前世的时候,艾斯摩尔公司研制的极紫外光光刻机的波长控制在13.5纳米,这主要是因为光刻胶的原因,这主要是因为光刻胶的配方主要是掌握在住友、tok、陶氏等少数几家公司手里,配方自然是又他们来决定的。
而黄明超他们配方不一样,自然对极紫外光光源不同的波长有着不一样的光化学效应。
之前黄明超他们来做实验主要是用扫描隧道显微镜来观察光刻胶对光源照射剂量反应后的情况,并不能实时
《重生之大学霸》857章 牵一发动全身!
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